Царапина на поверхности: мониторинг изменений поверхности на атомарном уровне в реальном времени: новый инструмент – это новые идеи для французской исследовательской группы
Диоксид кремния является одним из важнейших строительных блоков микроэлектроники, и его термическая стабильность имеет решающее значение для производительности устройства. Разложение тонкого слоя диоксида кремния на кремнии является предметом большого научного интереса в течение четырех десятилетий. Предыдущие исследования показывают, что разложение происходит неоднородно на поверхности за счет локального образования дырок в оксидном слое, которые проходят в поперечном направлении. …
